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偏壓電源在真空離子鍍膜工藝中對膜層質(zhì)量起著至關(guān)重要的作用，偏壓可顯著提升沉積速率、提升膜層與工件的結(jié)合力、增加膜層致密性。精新偏壓電源可運行于等離子清洗、刻蝕和偏壓三種不同的功能模式，適用于等離子體薄膜沉積工藝中的不同流程。